爪式干式真空泵
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摘要
爪式干式真空泵，无油洁净设计污染，适配半导体、科研、电子等敏感场景。采用双爪啮合结构，极限压力低至 10⁻³ mbar，抽速稳定，支持可凝蒸汽与腐蚀性气体处理。运行低噪节能（符合 ISO 3744 标准），结构紧凑易集成，无油液维护需求，大修周期长。符合 PNEUROP 行业标准，适配多场景真空需求，是、洁净、低维护的真空解决方案。
产品介绍
爪式干式真空泵，它属于无油真空泵的一种，通过爪型转子的啮合转动实现气体抽排，具有无油污染、运行稳定、维护简便等特点，广泛应用于半导体、光电、科研等对真空环境洁净度要求高的领域，是干式真空系统的关键设备之一。
爪式真空泵的抽速特性曲线，展示了不同转速（1000~6000 min⁻¹）下，泵的抽速（v，单位 m³/h）随压强（p，单位 hPa/mbar）变化的规律，用于指导该泵在不同工况下的性能评估与系统匹配，是真空系统设计的核心技术参考图表之一。
爪式干式真空泵专为移动空气输送设计，极端环境适应性拉满 ——-40~+100℃温度、-1000~4000m 海拔均可稳定工作，还耐受剧烈振动。搭载爪式技术，干式非接触压缩介质污染，智能变速驱动节能，使用寿命长且几乎免维护。一体式设计占地小，适配多场景移动真空需求，实用又可靠。
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