普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600 干式螺杆真空泵

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摘要

普发真空 ACG 600 干式螺杆真空泵,无油运行设计,污染,适配严苛工业场景。大抽速、高真空度,稳定应对半导体制造、锂电新能源等领域。低噪节能,维护便捷,助力产线降本增效,是工业真空解决方案。

产品介绍

普发真空(Pfeiffer VacuumACG 600 干式螺杆真空泵,属于干式真空泵系列,具备无油污染、高抽速的特点,广泛应用于半导体制造、光伏产业、真空镀膜等对清洁真空环境要求较高的领域,用于实现真空抽取和维持。


ACG 600 干式螺杆真空泵

普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600G 干式螺杆真空泵的抽速曲线,用于呈现该泵在 50Hz 和 60Hz 两种工作频率下,抽气速率(纵轴,单位 m³/h)随入口压力(横轴,单位 hPa)的变化规律,是评估其真空性能的关键图表之一。

ACG 600 干式螺杆真空泵

普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 系列干式螺杆真空泵的尺寸图纸,标注了进气口(Inlet)、氮气吹扫口(N₂ Purge)、出气口(Outlet)等关键部件的位置及整体的长、宽、高尺寸参数,用于指导设备的安装、适配等工程应用场景。

ACG 600 干式螺杆真空泵

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