SP10K隔膜密封隔离阀

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关键词： SP10K 隔膜密封隔离阀

摘要

Edwards SP10K 隔膜密封隔离阀，是真空系统专用直列式阀：采用弹性膜片隔离阀杆与介质，耐 “脏污” 工况，漏率低至 10⁻⁶ mbar・L/s，可耐 9bar 过压，适配 NW10 法兰，铝合阀体轻量耐用（仅 230g），支持管道 / 面板安装，是半导体、科研真空设备的高可靠隔离部件。

SP10K 隔膜密封隔离阀

Speedivaves

SP阀是隔膜密封的In-Line隔离阀。该结构主要由柔性弹性隔膜组成，该弹性隔膜通过螺纹机构密封在轻度抛光的阀座上。该机构通过隔膜与系统隔离，从而形成一个极其坚固和“脏”的系统耐受阀。

阀门端接在NW法兰上，可采用管道支撑或面板安装。（SP40K仅支持管道）

易于操作，带有阀门打开的视觉指示（SP10K至SP25K）

密封性优于106 mbar ls1/8 x 107 Torr ls1

隔膜将机构与真空系统完全隔离

极其坚固且耐“脏”的系统

将承受9巴的超压（SP10K至SP40K，带Co-Seal）

SP10K 隔膜密封隔离阀

核心标识类：Edwards SP10K、SP10K 隔膜密封隔离阀、Speedivalve、型号 C33105000

性能参数类：漏率 1×10⁻⁶ mbar・L/s、9bar 过压、分子传导率 1.7L/s、工作温度 0 - 40℃、60℃烘烤温度

结构材质类：铝合金阀体、氟橡胶隔膜、丁腈橡胶隔膜、玻璃增强塑料手轮、NW10 法兰

安装使用类：管道安装、面板安装、手动操作、阀门开启视觉指示、230g 轻量化

适用场景类：真空系统、半导体制造、科研实验室、脏污工况、高纯度流体控制

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SP10K 隔膜密封隔离阀

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