VPI真空泵隔离阀
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摘要
VPI 真空泵隔离阀，是真空系统中实现气流控制的核心部件。采用高品质材质打造，密封性能优异，可快速隔离真空泵与管路，有效保护设备、稳定真空环境。适用于半导体、镀膜、科研等领域，安装便捷，耐用性强，为您的真空系统运行保驾护航。
产品介绍
VPI真空泵隔离阀
一、真空泵隔离阀 (VPI)
安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵通过电线相连。断电时可以快速关闭阀，从而防止油返流或颗粒进入真空系统。还可从入口侧进行泵放空，将碎屑全部推向出口，从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。
阀体设计和直角式构造提供了最大的流导。快速动作的稳定密封为您的真空系统提供及时保护.特性：
采用中心锁定机构实现可靠、重复的密封
快速动作，在电源故障时，阀在 30 ms 内关闭，防止油或污染物迁移，为您的真空系统提供及时保护
在泵入口侧进行泵放空，保持流向不变
油/碎屑不会冲入系统中
在泵入口压力恢复到系统压力之前保持关闭，以提供持续保护并方便重启
在大气压下操作，并在断电时执行，操作无需压缩空气
提供最大流导，不降低抽速
二、技术规格
三、订购部件号
部件号
产品描述
VPI25INV24DC
真空泵隔离阀 (VPI)，24 VDC，用于 TriScroll 300 变频真空干泵
VPI40INV24DC
真空泵隔离阀 (VPI)，24 VDC，用于 TriScroll 600 变频真空干泵
VPI252205060
真空泵隔离 (VPI) 阀，NW25，220 V，50/60 HZ
VPI402205060
真空泵隔离 (VPI) 阀，NW40，220 V，50/60 HZ
四、尺寸
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