多西托（DosiTorr）高真空传感器：高真空场景的

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关键词：高真空传感器

摘要

多西托（DosiTorr）高真空传感器，是高真空场景的 “数据管家”！1×10⁻²~1×10⁻⁹ mbar 宽量程，±5% 精度 +≤0.1%/ 年漂移，热阴极技术保数据准。耐腐蚀合金 + 电磁屏蔽抗干扰，适配半导体、实验室。18 个月免校准，支持远程监控，CE/ISO 认证，省心又可靠！

多西托（DosiTorr）高真空传感器：高真空场景的 “数据管家”

高真空传感器

多西托（DosiTorr）高真空传感器：高真空场景的 “数据管家”

针对半导体制造、实验室分析、真空镀膜等场景对真空度 “实时监测、稳定抗干扰” 的核心需求，多西托（DosiTorr）高真空传感器凭借硬核技术，成为高真空环境下的关键监测装备，为工艺稳定性与实验准确性保驾护航。

核心技术：与稳定双在线

宽量程高精度监测：测量范围覆盖 1×10⁻²~1×10⁻⁹ mbar，兼顾中高真空全场景需求；采用热阴极电离检测技术，搭配数字化信号处理芯片，测量精度达 ±5%（全量程），数据漂移≤0.1%/ 年，避免因真空度偏差影响半导体晶圆刻蚀、实验室质谱分析等精密流程。

强抗干扰适配复杂环境：外壳采用耐腐蚀合金材质，耐粉尘、抗化学气体侵蚀，适配半导体工艺中的等离子体环境、实验室的腐蚀性试剂场景；内置电磁屏蔽模块，可抵御设备高频干扰，确保数据传输稳定，无需额外加装屏蔽装置。

场景适配：多领域无缝对接

工业制造领域：半导体行业中，实时监测真空腔体压力，保障离子注入、薄膜沉积工艺的一致性；真空镀膜行业里，控制镀膜环境真空度，提升镀膜层附着力与光洁度，减少产品不良率。

科研实验领域：适配质谱仪、电子显微镜等精密设备，为痕量分析、微观观测提供稳定的真空监测数据；在低温物理、天体模拟实验中，长期监测超高真空环境，满足实验对真空度的严苛要求。

使用优势：省心省力降成本

免频繁维护：传感器核心部件寿命达 8000 小时以上，支持 18 个月免校准，减少停机维护时间；模块化设计，故障时可快速更换核心组件，无需整体拆装，降低运维难度。

智能便捷集成：兼容 RS485/Modbus 通信协议，可直接接入工厂或实验室的中控系统，支持远程数据查看与异常报警；体积小巧（仅手掌大小），安装空间灵活，适配各类真空腔体管路。

品质保障：认可更放心

依托成熟的真空监测技术积淀，产品通过 CE/ISO 双重认证，适配多品牌真空设备（如普发、爱德华等），原厂提供技术支持与售后保障，确保设备长期稳定运行，为高真空场景的监测提供可靠解决方案。

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