DOLPHIN LM 0100–0270 A液环真空泵和压缩机
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摘要
Busch 普旭 DOLPHIN LM 0100–0270 A 液环真空泵和压缩机，抽速 100-270m³/h，真空压力低至 33hPa、压缩压力达 0.9MPa。液环设计耐水汽与腐蚀性气体，无油洁净运行，适配化工蒸馏、制药干燥等场景，低噪节能且易维护，适配多产线集成。
产品介绍
DOLPHIN LM 0100–0270 A液环真空泵和压缩机
采用久经验证的工作原理和现代设计
技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
DOLPHIN LM 0100–0270 A
抽速
干燥空气温度在 20 ℃ 时， 工作液：水，15 ℃， 公
差：-10%，符合 HEI 和 Pneurop
6612
在平板显示器生产中，Load lock 腔体作为晶圆 / 玻璃基板传输的关键环节，对真空系统的抽速、洁净度及稳定性要求严苛，COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵正是为此场景量身打造的解决方案。
其 7000-7385m³/h 的超大抽速，能快速将 Load lock 腔体从常压抽至目标真空度（极限压力低至 0.001hPa），大幅缩短腔体开关门后的抽气周期，配合集成真空助力器，控制压力波动，避免基板在传输过程中因真空不稳定出现位置偏移，保障显器生产节拍连贯。
针对平板显器制程中 Load lock 腔体可能残留的微量颗粒与蒸汽，设备采用干式无油设计，从源头油蒸汽污染，避免基板表面出现油污瑕疵，同时耐颗粒结构可减少杂质堵塞风险；水冷系统能稳定控制泵体温度，即便 24 小时连续运行也能保持性能稳定，降低维护频次与成本。
此外，紧凑的机身结构适配 Load lock 腔体周边有限的安装空间，无需复杂改造即可快速集成，无论是 LCD 还是 OLED 显器生产线，都能轻松适配，为平板显示器企业提升产能、保障产品良率提供可靠真空支持。
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