您当前的位置：首页> 下载>行业资讯

氦质谱检漏仪的校准与常见故障处理

2026-09-22 　来自: 厦门太星机电有限公司 浏览次数:6

氦质谱检漏仪是真空系统里最精密、也最容易被用坏的一台设备。 它的问题和真空泵不一样：泵坏了通常是机械磨损，检漏仪出问题往往出在离子源、真空系统和标定上。

一、检漏仪由哪几部分组成（决定了故障出在哪）

  1. 前级泵 + 分子泵：给质谱室提供高真空环境。这部分其实是真空泵的问题， 前级泵油变质、分子泵轴承磨损都会直接影响检漏仪工作。
  2. 质谱室（离子源 + 分析器 + 检测器）：核心部件。灯丝在这里。
  3. 标准漏孔：校准的基准。
  4. 阀组与控制系统：粗抽、精抽、测试各状态的切换。

一个常被忽略的事实：很多"检漏仪坏了"的报修，最后查出来是前级泵或分子泵的问题。 检查顺序应该从真空系统开始，而不是一上来就怀疑质谱室。

二、常见故障与判断

现象 常见原因 排查方向
开机起不来 / 无法达到测试状态 前级泵真空度不足、分子泵未达转速、阀组故障 先查前级泵油和真空度，再看分子泵转速
本底值偏高、降不下来 系统内部有残留氦、管路污染、阀门内漏 长时间抽气观察下降曲线；检查阀座密封
灵敏度下降 / 检不到已知漏 离子源灯丝老化或污染、离子源脏 查灯丝发射电流、清洗离子源
读数漂移不稳定 离子源污染、电源不稳、温度未平衡 开机预热足够时间后再判断
校准失败 / 校准系数异常 标准漏孔已过期或失效、离子源状态差 先确认标准漏孔在有效期内
完全无信号 灯丝烧断、检测器故障、高压异常 查灯丝、查高压

关于灯丝

灯丝是消耗品。 长期在偏高的本底或有油污染的环境下工作会明显缩短寿命。 多数机型有双灯丝设计，一根烧了可以切换到备用，但这只是应急，应尽快更换。

更换灯丝后必须重新校准，因为发射位置的细微差异会改变灵敏度。

三、校准（标定）怎么做才可靠

校准的本质是：用一个已知漏率的标准漏孔，让仪器把读数对上去。

几个关键点：

  1. 标准漏孔有有效期，而且漏率会随时间衰减。 过期的漏孔做出来的校准是错的，而且错得你看不出来—— 仪器照样显示"校准成功"，但整台仪器的读数基准已经偏了。 这是检漏工作中最隐蔽的一类错误。
  2. 校准前要让仪器充分预热，达到热平衡后再做，否则读数会漂。
  3. 校准环境要洁净：附近不能有氦气泄漏源，操作人员刚用过氦气的手套要注意。
  4. 校准后要验证：用漏孔复测一次，看读数是否稳定复现。
  5. 校准记录要留存：日期、漏孔编号、漏孔标称值、校准前后系数。 这既是质量追溯的要求，也是判断仪器状态变化趋势的依据。

校准系数异常偏高或偏低是一个重要信号——它通常不是"这次没校准好"， 而是提示离子源脏了、灯丝老化了，或者标准漏孔本身不行了。

四、日常怎么用能延长寿命

  • 不要用检漏仪去抽大漏。发现大漏应先粗抽或用其他方式定位， 让检漏仪长时间在高压下工作会污染质谱室。
  • 保持前级泵状态良好。前级泵油变质会让油蒸气反扩散污染离子源—— 这是离子源污染最常见的来源。
  • 测试件要预先干燥清洁，避免把水汽和油污带进仪器。
  • 按周期做保养：前级泵换油、分子泵按厂商周期保养、离子源定期清洗。
  • 记录本底值的变化趋势。本底缓慢升高是污染在积累的早期信号， 比等到灵敏度明显下降再处理要好得多。

五、送修前可以先自查的几项

  1. 前级泵油位和油色是否正常
  2. 分子泵是否达到额定转速、有无异响
  3. 标准漏孔是否在有效期内
  4. 是否充分预热
  5. 近期是否抽过大漏、是否接触过含水含油的测试件
  6. 记录本底值和校准系数，与之前的记录对比

把这些信息连同型号一起提供给维修方，能显著缩短判断时间。

六、常见问题

问：检漏仪校准偏高、系数偏高是什么意思？ 答：校准系数是仪器为了让读数对上标准漏孔而施加的修正倍数。 系数明显变高，通常意味着仪器的实际灵敏度下降了—— 常见原因是离子源污染、灯丝老化。如果系数持续升高，应该安排清洗和检查， 而不是继续用高系数硬撑。

问：检漏仪多久校准一次？ 答：日常使用建议每天开机后校准一次；更换灯丝、清洗离子源、 搬动仪器或长时间停用之后必须重新校准。用于出具检测报告的场合，按对应规范执行。

问：检漏仪本底一直降不下来怎么办？ 答：先排除系统内残留氦（长时间抽气观察）、再查阀门内漏和管路污染， 最后查前级泵和分子泵状态。多数情况问题在真空系统而不在质谱室。

问：检漏仪能自己修吗？ 答：换灯丝、清洗离子源这类操作有明确的规程和洁净度要求， 装配不当会直接影响灵敏度，而且装完必须重新校准验证。 前级泵换油这类可以自己做，涉及质谱室的建议交给有对应设备和标准漏孔的维修方。

关于我们

厦门太星机电有限公司，专做真空泵维修与保养。

  • 可维修品牌：莱宝 Leybold、爱德华 Edwards、爱发科 ULVAC、普发 Pfeiffer、普旭 Busch、 荏原 Ebara、贝克 Becker、里奇乐 Elmo Rietschle、阿特拉斯 Atlas Copco、安捷伦 Agilent、 岛津 Shimadzu、英福康 Inficon 等进口品牌，以及各主流国产品牌。
  • 可维修类型：油封旋片泵、干式螺杆泵、罗茨泵、爪泵、涡旋泵、水环/液环泵、 涡轮分子泵、氦质谱检漏仪。
  • 车间配置：洁净维修间、超声波高温清洗、动平衡校正设备、48 小时模拟工况测试台、 进口配件供应链。
  • 标准流程：外观记录 → 进厂状态检测 → 整机拆解 → 分级清洗 → 部件测量与分级 → 精密修复 → 按出厂标准装配 → 48 小时测试 → 出具检测报告 → 送机现场验收。

设备有问题不确定原因，可以先发型号和铭牌照片做免费初判。

本文数据来自本公司 175 份进厂检测报告与 125 条维修记录的统计。转载请注明出处。

常见问题

检漏仪校准偏高、系数偏高是什么意思？

校准系数是仪器为了让读数对上标准漏孔而施加的修正倍数。 系数明显变高，通常意味着仪器的实际灵敏度下降了—— 常见原因是离子源污染、灯丝老化。如果系数持续升高，应该安排清洗和检查， 而不是继续用高系数硬撑。

检漏仪多久校准一次？

日常使用建议每天开机后校准一次；更换灯丝、清洗离子源、 搬动仪器或长时间停用之后必须重新校准。用于出具检测报告的场合，按对应规范执行。

检漏仪本底一直降不下来怎么办？

先排除系统内残留氦（长时间抽气观察）、再查阀门内漏和管路污染， 最后查前级泵和分子泵状态。多数情况问题在真空系统而不在质谱室。

检漏仪能自己修吗？

换灯丝、清洗离子源这类操作有明确的规程和洁净度要求， 装配不当会直接影响灵敏度，而且装完必须重新校准验证。 前级泵换油这类可以自己做，涉及质谱室的建议交给有对应设备和标准漏孔的维修方。
关键词： 氦质谱检漏仪 检漏仪校准 检漏仪维修 氦检漏

新闻动态+更多

相关资讯 更多>>