荏原 AAS 干泵过热跳停怎么办？

产品信息：

品牌	EBARA	是否支持加工定制	否	是否进口	否
轴承位置	齿轮侧独立润滑腔（与转子腔隔离）	材质	铸铁	适用车系
尺寸	83×40×79cm	尺码		充气管长	m
抽气量	420 m³/h	抽气速率	116.7 L/s	电流	30 A
电压	220 V	电源线长	cm	电源型式	三相交流 50/60 Hz
风量	420 m³/h	工作流体	无油（干式）	工作温度	30℃
工作压力	0.0000002 MPa	工作蒸汽耗量	m³/h	工作蒸汽压力	kPa
功率	7500 W	功能	无油干抽、N₂ 密封、变频自适应、报警/TRIP 监控	规格	830 × 400 × 790 mm
级数	多级	极限压力	2×10⁻⁷ MPa	净重	280 000g
款式	箱式结构	类别	干式真空泵	类型	多级罗茨干泵
流量	420 m³/h	排出口径	40 mm	汽蚀余量	m
驱动方式	三相异步电机直联（2P）	颜色	荏原标准灰（机箱）	输送介质	N₂、洁净工艺气、微量腐蚀性气体（H₂、HCl 等经防腐处理）
温度范围	30℃	吸入口径	50 mm	吸入压力	大气压抽至 0.2 Pa
箱装数量	台	效率		型号	AAS70WN
性能	极限 0.2 Pa、抽速 420 m³/h、N₂ 吹扫 11-13 SLM、水冷	适用范围	半导体 Etch/CVD/PVD、Load-lock、光伏、腐蚀性工艺气体	原理	容积式（多级罗茨转子 + 同步齿轮）
叶轮吸入方式	多级罗茨转子（非离心式）	叶轮结构	多级罗茨转子（非离心式）	真空度	0.2 Pa
直联电机	是	重量	280 kg	转速	3500 RPM
最大工作压强	0.4 MPa