Edwards iXH610 / iXH1210 中型干泵维修

一、型号参数对照

iXH610 与 iXH1210 是 iXH 系列中型主力段，极限真空进入 10⁻³ mbar 级，适合中等腔体、多靶位量产设备与脉冲式气体负载工艺。参数来自 Edwards 官方 datasheet。

型号	峰值抽速(m³/h)	极限真空	功率(kW)	进气法兰	典型适用
iXH610	665	<5×10⁻³ mbar	2.6	ISO100	PVD 溅射 / ALD / 中小型研发量产腔体
iXH1210	1025	<5×10⁻³ mbar	3.2	ISO100	大腔体多靶位溅射 / PECVD / LPCVD
iXH1210H	1000	<5×10⁻³ mbar	4.0	ISO100	iXH1210 高氢抽速版
iXH1210HT	—	<5×10⁻³ mbar	—	ISO100	高温 + 高防腐版

后缀解读：H = 高氢抽速；T = 高温防沉积版；HT = 高温 + 高防腐版。两款均为干式无油螺杆结构，标配 XCEDE 防腐涂层 + Gas Buster™ 粉尘处理，Green Mode 待机功耗约 0.045 kW，噪音约 64 dB(A)。

磁控溅射 PVD（薄膜沉积）：基础真空 10⁻³~10⁻⁴ mbar，杂质污染单晶薄膜；iXH610 适配中小型溅射机台，iXH1210 适配大腔体、多靶位量产溅射设备，快速抽离氩气与残余金属蒸气；
波导刻蚀 / ICP 干法蚀刻：产生氟基 / 氯基腐蚀尾气与晶体粉尘，iXH 标配 XCEDE + FFKM 全氟密封 + 内置粉尘吹扫通道，抵御腐蚀、防止粉料卡死螺杆腔体；
ALD / PECVD / LPCVD 绝缘镀膜：脉冲式间歇性气体负载，iXH1210 大抽速可毫秒级带走前驱体残余气体，保障薄膜厚度均匀性。

二、共性故障诊断中心

厦门干式真空泵

中型 iXH 抽速大、工艺气体负载重，粉尘堵塞与副产物沉积是中型段突出的诱因，诊断仍遵循"先系统后泵体"。