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摘要
普发真空电动真空插板阀 本款电动插板阀适配高真空、超高真空工况,不锈钢阀体搭配波纹管密封,氦漏率,支持高温烘烤。电动驱动无需气源,带位置反馈,通流导大,动作平稳无粉尘污染。配备 CF、ISO 法兰,适配自动化真空管路,多用于半导体镀膜、科研腔体、光学真空设备隔断。
产品介绍
普发真空电动真空插板阀专为高真空与超高真空场景打造,采用波纹管密封结构实现零泄漏保障,电动驱动可快速切断真空通路。紧凑坚固的机械设计适配标准法兰接口,安装便捷且维护周期长,是半导体制造、科研真空系统、光学镀膜等领域的核心控制部件,德国品质铸就稳定可靠的真空控制体验。

普发真空电动真空插板阀专为高真空、超高真空场景设计,采用波纹管密封结构实现零泄漏保障,电动驱动可快速切断真空通路。紧凑坚固的机械设计适配标准法兰接口,安装便捷且维护周期长,是半导体制造、科研真空系统、光学镀膜等领域的核心控制部件,德国品质铸就稳定可靠的真空控制体验。



普发真空电动插板阀采用再循环滚珠轴承导轨与滚珠丝杠驱动,实现零背隙、无滑粘效应,导轨及驱动无磨损、免维护。稳定结构大幅降低压力波动带来的位置偏移,限位开关可调,搭配常闭锁紧制动器,避免阀体自行位移。制动供电 24V 直流 0.5A,配置通孔连接法兰与螺纹可动法兰,适配高真空、超高真空系统使用。
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