普发真空（Pfeiffer Vacuum）ACG 600 干式螺杆真空泵

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关键词：干式多级罗茨泵组

摘要

普发真空 ACG 600 干式真空机组，无油干式结构，水冷设计并集成氮气吹扫，额定抽速 560m³/h，极限真空可达 9×10⁻³hPa，进气接口 DN100 ISO‑K。运行噪音低、维护周期长，洁净无油污染，适配镀膜、氦检、冻干及分子泵前级抽气，可稳定服务大腔体真空工艺。

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ACG 600 干式螺杆真空泵，属于干式真空泵系列，具备无油污染、高抽速的特点，广泛应用于半导体制造、光伏产业、真空镀膜等对清洁真空环境要求较高的领域，用于实现真空抽取和维持。

干式多级罗茨泵组

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ACG 600G 干式螺杆真空泵的抽速曲线，用于呈现该泵在 50/60Hz 工作频率下，抽气速率（纵轴，单位 m³/h）随入口压力（横轴，单位 hPa）的变化规律，是评估其真空性能的关键图表之一。

干式多级罗茨泵组

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ACG 系列干式螺杆真空泵的尺寸图纸，标注了进气口（Inlet）、氮气吹扫口（N₂ Purge）、出气口（Outlet）等关键部件的位置及整体的长、宽、高尺寸参数，用于指导设备的安装、适配等工程应用场景。

干式多级罗茨泵组

普发真空 ACG 600 干式真空机组，高流通量设计，抽气速率可达 560m³/h，搭载 380–480V 三相电机，配备集成氮气气镇结构，适合大流量抽吸工况。无油洁净抽气，运行稳定，适配镀膜、氦检、冻干等工艺，可作为分子泵前级泵，满足大腔体连续抽真空需求。

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干式多级罗茨泵组

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