普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600 干式螺杆真空泵

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摘要

 普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600 干式真空泵

普发 ACG600 为无油干式真空机组,多级罗茨干式结构,水冷散热,内置氮气气镇,可处理可凝性气体。抽速大,运行噪音低,维护周期长,原装整机出厂,适配严苛工业工况。多用于半导体、镀膜、冻干、检漏前级抽空与真空系统,无油,性能稳定,便于集成自动化产线。

产品介绍

普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600 干式螺杆真空泵,属于干式真空泵系列,具备无油污染、高抽速的特点,广泛应用于半导体制造、光伏产业、真空镀膜等对清洁真空环境要求较高的领域,用于实现真空抽取和维持。


普发 ACG600 多级罗茨干泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600G 干式螺杆真空泵的抽速曲线,用于呈现该泵在 50Hz 和 60Hz 两种工作频率下,抽气速率(纵轴,单位 m³/h)随入口压力(横轴,单位 hPa)的变化规律,是评估其真空性能的关键图表之一。

普发 ACG600 多级罗茨干泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 系列干式螺杆真空泵的尺寸图纸,标注了进气口(Inlet)、氮气吹扫口(N₂ Purge)、出气口(Outlet)等关键部件的位置及整体的长、宽、高尺寸参数,用于指导设备的安装、适配等工程应用场景。


普发 ACG600 多级罗茨干泵

普发 ACG600 多级罗茨干泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)ACG 600 干式真空泵

普发 ACG600 干式真空机组拥有高流通量,60Hz 工况抽气速率可达 560m³/h,配置 200–480V 三相电机,自带集成氮气气镇,可处理可凝性蒸汽。无油干式设计,水冷运行稳定,适配半导体、镀膜、冻干、检漏前级抽空等场景,原装进口,方便接入自动化产线,维护周期长。


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