爱德华 iXH 系列干式真空泵
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摘要
爱德华 iXH 系列干式真空泵 爱德华 iXH 干式真空泵为严苛工艺打造，采用无油干式结构，油汽污染腔体，搭载宽域温控系统，减少工艺副产物堆积。可选 XCEDE 强化防腐技术，适配含粉尘、腐蚀性气体工况。创新密封设计降低泄漏风险，抽速稳定，能耗优异。设备带移动脚轮与调平底座，配备操作面板与急停保护，运行可靠，维护周期长，多用于半导体刻蚀、光伏、镀膜等真空工艺。
产品介绍
爱德华 iXH 系列干式真空泵
本款爱德华 iXH 干式真空泵采用无油干式结构，不会产生油蒸汽污染腔体，适配半导体刻蚀等含腐蚀性气体工况。整机自带移动脚轮与调平支脚，方便现场移位固定；配置直观操作面板，急停按键保障安全。泵体抗粉尘副产物，抽速稳定，真空性能优异，运行噪音低，维护周期长，广泛用于光伏、科研、镀膜等真空工艺。
M 系列多级罗茨真空泵
M 系列多级罗茨真空泵依靠一对多级罗茨转子，在泵壳内同步高速反向旋转实现吸气排气。设备功率低、抽速大，排粉能力出众，可输送易燃、易爆、易凝结工艺气体，抽速平稳，适配大排气量工况，运行可靠，运维成本低廉。莱斯特干式款分无前级泵与有前级泵两种机型，可选变频永磁同步电机或伺服驱动，搭配氮气吹扫与控温系统，保障长期稳定作业。
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