普发真空（Pfeiffer Vacuum）CombiLine 系列撬装式真空获得系统

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关键词：普发 CombiLine 罗茨泵组

摘要

### 普发真空（Pfeiffer Vacuum）CombiLine 系列撬装式真空获得系统

本款德国普发 CombiLine 撬装预集成罗茨真空机组，搭载 HiLobe 罗茨泵与配套前级泵，管路阀件预装一体。抽速大、抽空快，极限真空可达 10⁻³hPa，电机能效优异，可选 Profinet 通讯接口。模块化结构，安装就位即可使用，运行稳定，适配镀膜、真空干燥、空间模拟、材料科研等工况，可与高真空腔体配套组成完整真空系统。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）CombiLine 系列撬装式真空获得系统。它以红色机架为基础，集成了罗茨泵、前级泵与电气控制柜，是一套一体化高真空发生设备，广泛应用于半导体、镀膜等行业的制程真空场景，具备安装便捷、运行稳定的特点。

普发 CombiLine 罗茨泵组

真空泵抽速 - 压强特性曲线（50Hz 工况），采用双对数坐标，纵轴为抽速（m³/h），横轴为入口压强（hPa）。它直观呈现了真空泵在 50Hz 电源下，不同压强对应的抽速变化规律，是真空设备选型、性能验证的核心参考图表，常见于罗茨泵等设备的技术文档。

普发 CombiLine 罗茨泵组

普发真空（Pfeiffer Vacuum）p³ CUBE 系列氦质谱检漏仪的外形尺寸工程图。它包含俯视图、主视图、侧视图等多视角视图，标注了详细安装尺寸与真空接口规格（如 DN 100 ISO‑K），用于指导设备安装布局、空间规划与接口适配，是设备集成与现场部署的核心技术文件。

普发 CombiLine 罗茨泵组

HiLobe 立式罗茨真空泵 (1302) 真空机组

采用 HiLobe 立式罗茨泵搭配 2 台 DuoVane 旋叶泵，介质为 P3 工作流体，集成气镇阀与高压安全阀，无机架直连装配。Duo 电机 IE3 能效，HiLobe 电机达 IE4 高能效。搭载智能接口支持工业 4.0 过程监控，新一代驱动缩短抽空时长。可增配控制柜、ProfiNet 通讯，支持定制电压，原厂配套齐全，设计兼顾高性能、稳定可靠与便捷维护。

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