普发真空 ACP 28 干式多级罗茨泵

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摘要

普发真空 ACP 28 干式多级罗茨泵

普发 ACP28 干式多级罗茨泵,非接触干式结构,无油无碳氢回流,颗粒污染,集成风冷系统,运行稳定。拥有 SD 标准、G 耐腐蚀、CV 处理可凝蒸汽多版本可选,检修周期长,维护成本低。可作为分子泵前级泵,适配半导体、等离子清洗等洁净真空工况,结构紧凑,支持工艺选型咨询。

产品介绍

普发真空 ACP 28 干式多级罗茨泵,采用无油洁净技术,无颗粒 / 烃类污染,28m³/h 抽速 +≤0.03mbar 极限真空,20000 小时免大修。自带气镇阀可抽 1500g/h 水汽,空气冷却免水冷,集成数显计时与远程接口,32kg 紧凑机身 + KF 接口快装,适配质谱、电镜等实验室及分析仪器的高洁净真空场景。


罗茨泵

普发真空 ACP 28 干式多级罗茨泵(V6SATSGZMF)

型号 ACP 28 (V6SATSGZMF) 干式多级罗茨泵,可选配 SEK 28/40 隔音罩套件(件号 114379),有效降低设备运行噪音。电力电缆需客户在下单时备注对应规格型号。干式无油设计,多版本可选,可处理腐蚀性及可凝气体,适配半导体、等离子工艺,运行稳定,维护周期长,满足洁净真空生产需求。





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