普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构（真空传输接口组件）
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摘要
普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构，金属焊接波纹管动密封结构，实现腔体平移对接与样品传输。泄漏率，支持烘烤除气，兼容高真空与超高真空工况，定位、抗疲劳寿命长。便于集成负载锁及工艺腔体，适配半导体、镀膜、科研设备，是真空系统高性能传输接口组件。
产品介绍
普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构（真空传输接口组件）。它采用灰色主体搭配红色快速锁紧结构，集成柔性波纹管用于位移补偿，适配高 / 超高真空环境，可实现真空腔体或部件的平移对接，常用于半导体、科研真空系统的集成与维护。
普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构的工程尺寸图。它包含正视图、侧视图，标注了 A、B、C、D、E、F 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空传输组件的安装、空间布局与系统集成，适配半导体、科研等高真空场景的设备对接需求。
紧凑型三轴精密操作平台，Z 轴配置循环滚珠轴承导轨与滚珠丝杠驱动，XY 轴采用精密十字滚柱导轨。实现零背隙，消除滑粘效应，导轨及驱动部件免维护无磨损。结构稳固，大幅降低压力波动带来的位置偏移。XY 轴配备大旋钮测微螺旋，读数操作便捷；Z 轴锁紧制动器自行滑移，通孔连接法兰与螺纹移动法兰，方便设备集成安装。
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