普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构（真空传输接口组件）。
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KF 型多针真空电气馈通法兰
摘要
普发真空波纹管式腔体平移对接机构，真空传输接口组件，不锈钢波纹管柔性密封，氦检漏率低至 10⁻¹⁰Pa・m³/s，平移对接时持续维持超高真空。可补偿安装误差、缓冲对接冲击，低放气无粉尘污染，适配半导体、镀膜腔体自动传输，结构耐用、维护周期长。
产品介绍
普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构（真空传输接口组件）。它以灰色为主体，搭配红色快速锁紧结构，集成柔性波纹管实现位移补偿，适配高 / 超高真空环境，可完成真空腔体或部件的平移对接，常用于半导体、科研真空系统的集成与维护。
普发真空波纹管式真空腔体平移对接机构的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图，标注 A、B、C、D、E、F 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空传输组件的安装布局、空间适配与系统集成，是半导体、科研等高真空场景中设备对接的核心技术图纸。
本设备采用紧凑型机身，实现三轴调控。Z 轴配循环滚珠导轨与丝杠驱动，XY 轴搭载精密十字滚柱导轨，零背隙无滑粘，传动部件耐磨免维护。有效抑制气压波动造成的位移，XY 测微旋钮读数清晰，Z 轴锁止防位移，搭配通孔连接法兰与螺纹活动法兰，适配多样真空装配场景。
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