精密真空阀块采用铝合金一体数控加工成型
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摘要
精密铝合金真空阀块 本厂精密真空阀块选用优质铝合金原料,经五轴数控一体加工成型,整体流道一次铣削无拼接,内腔镜面抛光,洁净度达标半导体真空工况。多规格标准安装孔适配电磁阀、真空腔体,气密性优异,可大幅简化设备管路布局。模块化结构拆装便捷,支持非标流道定制,抗腐蚀、形变小,长期稳定适配镀膜、科研等高真空设备。
产品介绍
精密真空阀块采用铝合金一体数控加工成型,多规格流道、安装孔位匹配真空阀、真空泵组件。内部流道光滑无毛刺,保障高真空密封性能,集成多路气路集成,简化管路布局。表面精密抛光处理,洁净度适配半导体、镀膜设备,模块化拼接结构,拆装维护简便,可按需定制孔位与流道布局,稳定适配高低真空工况。

本集成真空阀块采用航空铝数控精铣加工,多组标准流道、阀安装孔一体成型,省去繁杂外接管路。内腔镜面抛光,无残留杂质,满足半导体、光学镀膜等高洁净真空需求。孔位公差控制精密,密封性能优异,可搭配电磁阀、真空规、真空泵装配。模块化一体设计,安装调试简单,支持按设备气路方案定制开孔布局。


本款集成真空阀组搭载 Adixen 真空配套泵体,集成多组电磁阀与精密阀块,内部流道经过精密加工,气密性稳定。多线路集成布线,适配半导体、镀膜真空设备,可控制气路通断与真空腔体压力。模块化装配结构,拆装维护便捷,铝制阀体抗腐蚀,高低真空工况均可稳定运行,适配各类高洁净真空产线,可按需定制流道规格。


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