汇成真空HCEB-1550 高精密电子束蒸发光学镀膜设备
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摘要
汇成真空 HCEB-1550 高精密电子束蒸发光学镀膜设备，专为高精度光学镀膜打造。依托成熟电子束蒸发技术，可稳定制备 80 层以上复杂光学膜系，膜层均匀性、透过率表现优异。适配光学镜片、光通信元件、消费电子光学件等，广泛应用于半导体光学、精密光学领域，助力稳定量产。
产品介绍
汇成真空HCEB-1550 高精密电子束蒸发光学镀膜设备，为光学镀膜领域专用机型。采用电子束加热蒸发技术，可高精度沉积多层光学膜，支持 80 层以上膜系制备，广泛用于光学镜片、光通信元件等，膜层均匀性与透过率表现优异，适配消费电子、半导体光学等行业。
汇成真空 HCSO-2550V 磁控溅射光学镀膜设备，为广东汇成真空科技的产品。它采用三腔室结构，适配消费电子、车载屏等场景，可镀制 AR+DLC+AF 超硬膜层，莫氏硬度达 7 级。设备搭配机械手自动上下料，工艺室常保真空，生产效率高，膜层均匀性与稳定性优异，能兼容大尺寸及 3D 曲面基材镀膜。
汇成真空 HCSO 系列光学镀膜设备，采用金属模式溅射与高反应性等离子体源技术，配机械手自动上下料，膜层均匀性＜1%。搭载专利 RF-ICP/CCP 离子源与在线磁场调节，靶材利用率高、能耗低。支持 2D/3D 基板镀制多种光学、导电、硬质膜层，适配玻璃、塑料、金属基材，助力大规模量产。
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