爱德华涡旋干泵 nXDS 15i

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关键词：爱德华涡旋干泵 nXDS 15i

摘要

爱德华涡旋干泵 nXDS 15i，采用无油清洁涡旋技术，避免工艺污染，抽速达 15m³/h，极限真空至 10⁻³mbar，运行低噪节能。适配半导体制程、科研实验、分析仪器等精真空场景，是可靠的无油真空解决方案。

产品介绍

爱德华涡旋干泵 nXDS 15i

概述

nXDS15i 是下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 可完全进行现场维修。

nXDS-C 泵是改进型的 nXDS，适用于蒸汽处理制程，可用于某些涉及腐蚀性物质的泵送应用。nXDS-C 型具有 Chemraz® 内部阀和不锈钢接头，可提供额外的泵送介质防护。

真空泵样图及剖面图