VACGEN ZLVM263R 型泄漏阀

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关键词：真空泄漏阀

摘要

VACGEN ZLVM263R 泄漏阀，真空系统专用精密元件，可调控微量气体泄漏与腔体压力，适配实验室、半导体、真空镀膜等场景。其结构紧凑、调节灵敏、密封性能优异，运行稳定可靠，为真空环境气氛控制提供高效解决方案。注：按需选配附件

VACGEN ZLVM263R 型泄漏阀

真空泄漏阀

VACGEN ZLVM263R 泄漏阀是一款真空系统专用精密调控元件，主打微量气体泄漏与腔体压力控制，具备结构紧凑、调节灵敏、密封性能优异的特点，运行稳定可靠，适配实验室、半导体、真空镀膜等多类场景的真空环境气氛调控需求，是提升真空系统工艺稳定性的关键配件。

压力参数：工作压力覆盖超高真空至常压区间，范围为 10⁻¹¹mbar - 100mbar；进口压力最高可承受 10bar，能适配不同真空系统的压力调控需求。

材质与密封：阀体采用 304L 不锈钢打造，搭配 mallory 密封垫，兼顾耐腐蚀与密封稳定性，适配各类真空工况下的气体控制场景。

耐高温性能：支持最高 450℃烘烤作业，可满足真空系统高温清洁等特殊工艺要求，保障高温环境下的稳定运行。

连接与结构：采用 DN40CF 连接类型，两个阀轴均配置可旋转法兰，便于安装集成；整体为全金属结构，适配精密真空环境。

操控配置：自带精细控制机构与可调节刻度分度环，调控精准度高；同时可按需选配电机控制功能，适配自动化真空系统。

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