爱德华涡旋干泵XDS35i

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关键词：爱德华涡旋干泵XDS35i

摘要

爱德华 XDS35i 涡旋干式真空泵，无油设计污染，专为半导体、科研等精密真空场景打造。运行稳定、维护便捷，可快速建立清洁真空环境，兼具能与高可靠性，是您真空系统的 “洁净动力核心”，为制程与实验研究保驾护航。

产品介绍

爱德华涡旋干泵XDS35i

爱德华涡旋干泵XDS35i

泵的抽速40 m3/h的一系列应用中，被证明是一种强大而清洁的真空泵解决方案。

专利双启动涡旋式技术和旁通阀的结合使Edwards能够提供XDS35i增强型系列泵，补充了原始系列。

XDS35i采用了智能驱动技术，以照顾泵并提供性能。

随着粗真空压力下峰值功率要求的降低和连续更高的粗真空速度，这些增强型泵使用户能够解决性能问题，以帮助那些粗加工性能或排空大腔室容积的能力很重要的特殊应用。

增强型在初始泵送过程中可将峰值功率要求降低20%：这意味着它能够在不损失性能的情况下泵送大容量腔室。

在这些粗真空压力下，它的泵送速度高达25%，这也有助于更高频率的循环应用。

Edwards（爱德华）XDS35i 系列干式涡旋真空泵，属于无油干式真空泵的一种。

它具备清洁无油的真空环境、出色的蒸汽处理能力（如水蒸气处理量可达 240g/h），广泛应用于分析仪器（如质谱、扫描电镜）、半导体制造、科研实验等领域。表格中还细分了 XDS35i 和 XDS35i Enhanced 两个版本，在极限真空、连续进气压力等性能参数上有所差异，可根据不同应用场景的真空需求选择。

爱德华涡旋干泵XDS35i