普发真空（Pfeiffer Vacuum） A100L 多级罗茨真空泵
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摘要
普发真空 A100L 是紧凑型无油多级罗茨真空泵，抽速达 100m³/h，极限压力低至 6.6×10⁻³hPa，杜绝油污染。机身紧凑易集成，58dB (A) 低噪设计适配洁净车间。配备 16/19 针 I/O 接口，支持远程调控与状态监控，广泛用于半导体 Load-lock、光伏等洁净制程，稳定可靠。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum） A100L 多级罗茨真空泵。罗茨真空泵是一种无内缩的真空泵，通常在中真空范围工作，常被用于真空冶炼、真空干燥、化工、食品包装等行业，能够快速有效地抽取系统内的气体，达到所需的真空度 。
真空泵的抽速 - 入口压力特性曲线。
横坐标 “inlet pressure (hPa)” 表示真空泵的入口压力（单位：百帕），纵坐标 “Pumping speed (m³/h)” 表示真空泵的抽气速率（单位：立方米每小时）。该曲线展示了在 50Hz 频率下，随着入口压力的变化，真空泵抽气速率的变化情况，能帮助用户了解真空泵在不同入口压力工况下的抽气性能表现。
这是真空泵的抽气时间 - 入口压力特性曲线。
横坐标 “Time (sec)” 表示抽气时间（单位：秒），纵坐标 “Inlet pressure (hPa)” 表示真空泵的入口压力（单位：百帕）。该曲线展示了在 50Hz 频率下，对容积为 1000 升的腔室进行抽气时，随着抽气时间的增加，真空泵入口压力的变化情况，反映了真空泵对该腔室的抽气效果随时间的变化规律。
真空泵的外形尺寸图纸 。图中标注了该真空泵进气口（Inlet DN 50 ）、出气口（Outlet DN 25 ）的位置及规格， 还详细标明了真空泵各个方向的长、宽、高等尺寸数据。这些尺寸信息对于真空泵的安装、空间布局规划，以及与其他设备的对接等工作都具有重要的参考价值。
普发真空 A100L 多级罗茨真空泵
普发真空 A100L 是专为洁净制程打造的多级罗茨真空泵，采用无油干式设计，通过 5 级罗茨转子非接触运转，杜绝油污染风险，为真空环境提供干燥洁净保障。峰值抽速可达 100m³/h，极限压力低至 6.6×10⁻⁵mbar，能快速建立稳定真空环境。
设备机身紧凑，适配机台内直接安装，搭配水冷回路与低噪设计，适配无尘车间等精密场景。配备运行时间计与三色状态指示灯，16/19 针 I/O 接口支持远程调控，可选 RS232/485 串行接口实现智能监控。平均故障间隔超 19.5 万小时，广泛应用于半导体 Load-lock、光伏及分析仪器领域，是高效可靠的真空解决方案。
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