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电容薄膜真空计

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摘要

电容薄膜真空计基于弹性薄膜在压差作用下引发电容变化的原理，通过检测电容变化并转换为标准信号输出，实现高精度真空测量。该产品具备高精度、高稳定性、耐腐蚀、抗干扰强、响应快速等显著特点，测量与气体成分无关，且拥有抗过载能力强、受环境影响小等优势。其类型多样，接口与输出丰富，可快速安装并实现智能化控制。产品广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜等众多行业，在关键工艺控制中发挥重要作用。随着真空技术发展，未来电容薄膜真空计将朝着更高精度、更宽量程、智能化、小型化与集成化方向持续演进，以满足各领域不断升级的真空测量需求。

产品介绍

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型号：CX-CFG500　　类型：薄膜电容真空计

　　适用气体：不限气体种类 　反应时间：10ms

　　测量范围：10pa ~1.0×10+5 Pa

　　供电：24 ±5 VDC /0.5A ；整机*大功耗1.0W

　　防护等级：IP40，IEC529

　　重量：250g 　　接口：标准 KF16 法兰

　　接触真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 灯丝, 馈通玻璃

发展趋势

随着真空应用技术的不断发展，对电容薄膜真空计的要求也越来越高，未来发展趋势包括进一步提高测量精度和稳定性、拓展量程范围、增强智能化功能（如具备自动校准、故障诊断、数据存储和通信等功能）以及小型化、集成化等，以更好地满足不同领域的应用需求。








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产品特点

高精度测量：±0.25%读数对测量环境气体不敏感

抗腐蚀、抗粉尘、抗氧化模拟电压输出：0.0～+10.0VDC

RS485 Modbus-RTU数字通讯

2路可设置控制开关

3键智能操作

5位LED数字显示

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产品参数

参数 数值

测量范围 10pa ~ 1.0×10+5 Pa

测量精度 ±0.25 % 读数

测量重复性 ±0. 1%   全量程

测量分辨率 0.002%  全量程

长期稳定性 每年变化不大于满量程 ±0.5 %  （不含环境变化因素）

温度补偿范围 -20º C ~ +80º C,  ±0.01 %FS/ º C

工作环境 -10º C ~ +50º C； 5 ~ 85 %,不结露

供电电源 +24V（±20%）/0.5A（适用+5.0VDC至+32VDC）

电接口插座 D-Sub  15 Pin，公

真空腔体 接口：DN16ISO-KF（其他可选）；*大承压：1.5×10+5 Pa

重量 250g （DN16ISO-KF法兰）

产品尺寸

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产品优势

由于陶瓷材料的形变恢复无迟滞使得陶瓷薄膜电容规获得高稳定、高精度。

由于氧化铝陶瓷与氟系密封件的稳定性使得陶瓷薄膜电容规具有抗腐蚀、抗氧化能力。

由于采用机械形变传感真空压强使得陶瓷薄膜电容规对被测量气体不敏感特点。

应用场景

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